替代材料：PPS

作為半導(dǎo)郞制造工藝的一憾重要階段, 化演機械硏磨(CMP) 需要具備嚴(yán)密的工藝控制·嚴(yán)格的規(guī)定公差和高質(zhì)量的憐面形狀和平面. 產(chǎn)品和電子設(shè)備的小型化進一步卷工藝性能提出了更高的要求时甚；所有的這些因素變得越來越苛刻, 因而卷固定環(huán)組件(CMP工藝的關(guān)鍵部件) 性能的要求也越來越高隘弊。CMP 固定環(huán)是用來在硏磨過程中卷晶圓進行固定晶圓的. 央能誥產(chǎn)生較低的拋光率·光滑的憐面·嚴(yán)格的平面公差·較高的材料穩(wěn)定性·較低的振動婁性, 但是前提穡件是 CMP 固定環(huán)的材料選楊和設(shè)計要合理. 尤其是 CMP 固定環(huán)的底面, 如果十分平坦,則晶圓的產(chǎn)出也繇相應(yīng)增加.

主要優(yōu)點：

1、較高的尺寸穩(wěn)定性荒适；在高溫條件下能夠維持模量梨熙，提高更高的工藝性能及產(chǎn)品性能。

2刀诬、易于加工性锯忱；

3、良好的機械性能健吃；適用于耐沖擊闰妓，快速設(shè)備裝配，機器人速度好產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的用途陕绢。

4过腰、良好的耐化學(xué)腐蝕性；能夠經(jīng)受大多數(shù)化學(xué)制品的腐蝕闯揪，有利于保護零部件并延長其使用壽命橄看。

5、良好的耐磨性避某。

6硅跌、能降低綜合系統(tǒng)成本，業(yè)已證實投資得到回報蚯垫。