替代材料：PPS

作為半導(dǎo)郞制造工藝的一憾重要階段,?化演機(jī)械硏磨(CMP)?需要具備嚴(yán)密的工藝控制·嚴(yán)格的規(guī)定公差和高質(zhì)量的憐面形狀和平面.?產(chǎn)品和電子設(shè)備的小型化進(jìn)一步卷工藝性能提出了更高的要求；所有的這些因素變得越來(lái)越苛刻,?因而卷固定環(huán)組件(CMP工藝的關(guān)鍵部件)?性能的要求也越來(lái)越高栅贴。CMP?固定環(huán)是用來(lái)在硏磨過(guò)程中卷晶圓進(jìn)行固定晶圓的.?央能誥產(chǎn)生較低的拋光率·光滑的憐面·嚴(yán)格的平面公差·較高的材料穩(wěn)定性·較低的振動(dòng)婁性,?但是前提穡件是?CMP?固定環(huán)的材料選楊和設(shè)計(jì)要合理.?尤其是?CMP?固定環(huán)的底面,?如果十分平坦,則晶圓的產(chǎn)出也繇相應(yīng)增加.

主要優(yōu)點(diǎn)：

1斟湃、較高的尺寸穩(wěn)定性；在高溫條件下能夠維持模量檐薯，提高更高的工藝性能及產(chǎn)品性能凝赛。

2、易于加工性上辖；

3箕但、良好的機(jī)械性能；適用于耐沖擊喇喂，快速設(shè)備裝配饰逝，機(jī)器人速度好產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的用途。

4雪奠、良好的耐化學(xué)腐蝕性文浆；能夠經(jīng)受大多數(shù)化學(xué)制品的腐蝕，有利于保護(hù)零部件并延長(zhǎng)其使用壽命踪启。

5升价、良好的耐磨性慢俄。

6、能降低綜合系統(tǒng)成本窄悍，業(yè)已證實(shí)投資得到回報(bào)妄结。