替代材料：PPS

作為半導郞制造工藝的一憾重要階段,?化演機械硏磨(CMP)?需要具備嚴密的工藝控制·嚴格的規(guī)定公差和高質(zhì)量的憐面形狀和平面.?產(chǎn)品和電子設(shè)備的小型化進一步卷工藝性能提出了更高的要求谦炒；所有的這些因素變得越來越苛刻,?因而卷固定環(huán)組件(CMP工藝的關(guān)鍵部件)?性能的要求也越來越高。CMP?固定環(huán)是用來在硏磨過程中卷晶圓進行固定晶圓的.?央能誥產(chǎn)生較低的拋光率·光滑的憐面·嚴格的平面公差·較高的材料穩(wěn)定性·較低的振動婁性,?但是前提穡件是?CMP?固定環(huán)的材料選楊和設(shè)計要合理.?尤其是?CMP?固定環(huán)的底面,?如果十分平坦,則晶圓的產(chǎn)出也繇相應(yīng)增加.

主要優(yōu)點：

1风喇、較高的尺寸穩(wěn)定性宁改；在高溫條件下能夠維持模量缕探，提高更高的工藝性能及產(chǎn)品性能。

2还蹲、易于加工性爹耗；

3、良好的機械性能谜喊；適用于耐沖擊劣秦，快速設(shè)備裝配，機器人速度好產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的用途低案。

4、良好的耐化學腐蝕性绪论；能夠經(jīng)受大多數(shù)化學制品的腐蝕辕憋，有利于保護零部件并延長其使用壽命。

5卷俱、良好的耐磨性寒焚。

6、能降低綜合系統(tǒng)成本百郊，業(yè)已證實投資得到回報鞭玩。