晶圓加持工具PEEK晶片夾视搏,用于手持式檢查晶圓的工具妖局。PEEK不含鹵族元素,不污染半導(dǎo)體晶圓扑毡。
PEEK晶片夾有送、硅片鑷子可在260℃溫度下長期使用淌喻,在高溫下能保持較高的強(qiáng)度,尺寸穩(wěn)定性較好雀摘,線脹系數(shù)較小宜柱,同時(shí)耐滑動(dòng)磨損和微動(dòng)磨損、低摩擦系數(shù)等性能優(yōu)異编喊,用PEEK晶片夾夾取晶圓拣薄、硅片的時(shí)候,不會(huì)對(duì)晶圓呀胁、硅片的表面產(chǎn)生劃痕招狈,不會(huì)因摩擦而對(duì)晶圓、硅片產(chǎn)生殘留物殖吧,從而提高了晶圓类棍、硅片的表面潔凈度。
PEEK 聚合物是一種高性能的熱塑性塑料牧返,其優(yōu)異的綜合性能經(jīng)過專門設(shè)計(jì)可被用來滿足電子工業(yè)日益提高的要求堡迷。
1、耐高溫:有著高達(dá)320℃的短期耐熱性弥铸,在無鉛焊接工藝的高溫下骇幽,能保持其強(qiáng)度和尺寸穩(wěn)定性,在250-280℃的溫度下脸候,5-10秒內(nèi)不會(huì)有變形伴隨回流現(xiàn)象發(fā)生穷娱;
2、耐磨性: 高機(jī)械強(qiáng)度和抗磨損性运沦;
3泵额、尺寸穩(wěn)定性: 填充級(jí)的材料降低了熱膨脹系數(shù),提高了熱變形溫度携添,能確保嚴(yán)格的尺寸控制嫁盲;
4、低釋氣性: 降低污染烈掠,提高了配件在有純度要求的應(yīng)用中的可靠性(如硬盤驅(qū)動(dòng)器羞秤,晶圓盒);
5左敌、低吸濕性:對(duì)于保持尺寸穩(wěn)定性和絕緣性能十分重要瘾蛋。
江蘇君華股份
隨著晶圓尺寸和集成電路密度的增大俐镐,以及電子半導(dǎo)體工業(yè)制造環(huán)境要求和污染源靈敏度的提高,使用PEEK高性能聚合材料已成為一條非常必要且行之有效的措施哺哼。
我公司開發(fā)的PEEK(聚醚醚酮)聚合物及其復(fù)合材料高性能塑料零件已廣泛電子半導(dǎo)體京革、光伏及液晶光電工業(yè)的很多環(huán)節(jié)。具體的PEEK產(chǎn)品形式有:PEEK晶片夾趾倾、PEEK真空吸筆桿及吸筆頭贪挽、PEEK CMP研磨環(huán)、PEEK耐磨滾輪绑功、PEEK頂銷帽泵易、PEEK齒輪、PEEK真空無痕吸盤窥书、PEEK涂膠臺(tái)等三百余種PEEK零件碴厂。